MEMS генераторы позволяют производить высокостабильные колебания в широком диапазоне частот. Они применяются как в качестве гетеродинов в телекоммуникационных устройствах, так и в качестве тактовых генераторов с низким джиттером в тактовых генераторах схем цифровой обработки сигналов.
Проблема создания высокочастотных высокостабильных генераторов решается несколькими путями. Один из них — создание схем фазовой автоподстройки частоты VCO гигагерцового диапазона и кварцевого относительно низкочастотного генератора (TCXO). Второй — применение для стабилизации частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах (TCSO).
Однако любое из этих решений предполагает использование кварцевой техники. В настоящее время широкое распространение получили микромеханические системы, где для получения высокостабильных колебаний используются резонаторы, выполненные на колебательных системах из поликристаллического кремния.
Рисунок 1. MEMS резонатор
(1),
